전자총에서 튀어나오는 전자 빔을 사용하여 포토레지스트 위에 반도체 소자의 회로 패턴을 기록하는 데 사용하는 장치. 전자 빔의 파장이 빛의 1000분의 1 이하이므로 선의 폭이 1마이크로미터(㎛) 이하인 패턴을 그릴 수 있어서, 초고밀도 집적 회로를 제작하기 위한 미세 가공 기술로서 사용한다.
단어 상세 정보
전자빔노광장치 뜻
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電子露光裝置 · 전자총에서 튀어나오는 전자 빔을 사용하여 포토레지스트 위에 반도체 소자의 회로 패턴을 기록하는 데 사용하는 장치. 전자 빔의 파장이 빛의 1000분의 1 이하이므로 선의 폭이 1마이크로미터(㎛) 이하인 패턴을 그릴 수 있어서, 초고밀도 집적 회로를 제작하기 위한 미세 가공 기술로서 사용한다.
- 품사
- 품사 없음
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뜻
- 전자빔노광장치(電子露光裝置)품사 없음
전자총에서 튀어나오는 전자 빔을 사용하여 포토레지스트 위에 반도체 소자의 회로 패턴을 기록하는 데 사용하는 장치. 전자 빔의 파장이 빛의 1000분의 1 이하이므로 선의 폭이 1마이크로미터(㎛) 이하인 패턴을 그릴 수 있어서, 초고밀도 집적 회로를 제작하기 위한 미세 가공 기술로서 사용한다.
표준국어대사전 · 표제어 288208 · 의미 1 · 電子露光裝置
한자·어원
어원 정보 電子beam露光裝置

끝말잇기 다음 차례
전자빔노광장치 다음에는 ‘치’로 시작하는 단어
후보의 뜻과 품사를 확인하고 게임에서 사용하는 사전과 규칙에 맞춰 고르세요.자주 묻는 질문
전자빔노광장치 뜻·사용법 FAQ
전자빔노광장치는 무슨 뜻인가요?
電子露光裝置: 전자총에서 튀어나오는 전자 빔을 사용하여 포토레지스트 위에 반도체 소자의 회로 패턴을 기록하는 데 사용하는 장치. 전자 빔의 파장이 빛의 1000분의 1 이하이므로 선의 폭이 1마이크로미터(㎛) 이하인 패턴을 그릴 수 있어서, 초고밀도 집적 회로를 제작하기 위한 미세 가공 기술로서 사용한다.
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출처·참고
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출처 및 자세한 사전 정보: 국립국어원 표준국어대사전 ↗사전 텍스트: 국립국어원 표준국어대사전 · CC BY-SA 2.0 KR. 원자료를 통합·정리하여 표시합니다. 출전이 있는 용례와 멀티미디어의 이용 조건은 별도입니다.
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