반도체 집적 회로의 제조 과정에서 회로 패턴을 기록하는 방식. 전자총·전자 렌즈·편향계(偏向系)·시료대(試料臺)로 이루어지며 텅스텐·육붕소화 란타넘 따위의 음극에서 방출된 전자선을 수십 kV로 가속하여 전자 렌즈로 수렴하고, 편광계에서 주사하여 미세한 패턴을 감광 재료에 노출(露出)한다.
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전자선리소그래피 뜻
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電子線 · 반도체 집적 회로의 제조 과정에서 회로 패턴을 기록하는 방식. 전자총·전자 렌즈·편향계(偏向系)·시료대(試料臺)로 이루어지며 텅스텐·육붕소화 란타넘 따위의 음극에서 방출된 전자선을 수십 kV로 가속하여 전자 렌즈로 수렴하고, 편광계에서 주사하여 미세한 패턴을 감광 재료에 노출(露出)한다.
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반도체 집적 회로의 제조 과정에서 회로 패턴을 기록하는 방식. 전자총·전자 렌즈·편향계(偏向系)·시료대(試料臺)로 이루어지며 텅스텐·육붕소화 란타넘 따위의 음극에서 방출된 전자선을 수십 kV로 가속하여 전자 렌즈로 수렴하고, 편광계에서 주사하여 미세한 패턴을 감광 재료에 노출(露出)한다.
표준국어대사전 · 표제어 289144 · 의미 1 · 電子線
한자·어원
어원 정보 電子線lithography
끝말잇기 다음 차례
전자선리소그래피 다음에는 ‘피’로 시작하는 단어
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전자선리소그래피 뜻·사용법 FAQ
전자선리소그래피는 무슨 뜻인가요?
電子線: 반도체 집적 회로의 제조 과정에서 회로 패턴을 기록하는 방식. 전자총·전자 렌즈·편향계(偏向系)·시료대(試料臺)로 이루어지며 텅스텐·육붕소화 란타넘 따위의 음극에서 방출된 전자선을 수십 kV로 가속하여 전자 렌즈로 수렴하고, 편광계에서 주사하여 미세한 패턴을 감광 재료에 노출(露出)한다.
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출처·참고
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출처 및 자세한 사전 정보: 국립국어원 표준국어대사전 ↗사전 텍스트: 국립국어원 표준국어대사전 · CC BY-SA 2.0 KR. 원자료를 통합·정리하여 표시합니다. 출전이 있는 용례와 멀티미디어의 이용 조건은 별도입니다.
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