방향이 일정한 전자의 흐름인 전자 빔을 이용한 진공관. 브라운관, 촬상관(撮像管) 따위가 있다.
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전자선가열전자 빔이 물체에 충돌할 때 발생하는 열에너지를 이용하여 가열하는 일. 전자총, 전자 렌즈, 진공 장치로 이루어지며 용해·용접·절단·천공 따위에 쓰인다.전자선관방향이 일정한 전자의 흐름인 전자 빔을 이용한 진공관. 브라운관, 촬상관(撮像管) 따위가 있다.전자선리소그래피반도체 집적 회로의 제조 과정에서 회로 패턴을 기록하는 방식. 전자총·전자 렌즈·편향계(偏向系)·시료대(試料臺)로 이루어지며 텅스텐·육붕소화 란타넘 따위의 음극에서 방출된 전자선을 수십 kV로 가속하여 전자 렌즈로 수렴하고, 편광계에서 주사하여 미세한 패턴을 감광 재료에 노출(露出)한다.전자선회절전자 빔이 파동성(波動性)을 가지고 엑스선처럼 회절하는 현상. 박막(薄膜), 표면층, 미결정(微結晶), 기체 분자의 구조를 조사하는 데 이용한다.전자선회절장치전자 현미경의 부속 장치. 전자 빔을 시료(試料)에 댈 때 그 회절상(回折像)에 결정형이나 다른 물리적 속성이 반영되는 성질을 이용한다. 화학 분석이나 원자 구조의 결정에 쓰인다.전자선회절카메라시료(試料)를 전자 빔으로 조사(照射)하였을 때 생기는 회절 전자 빔의 세기와 위치를 사진으로 기록하기 위하여 쓰는 카메라.
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출처: 국립국어원 한국어기초사전 및 우리말샘 · CC BY-SA 2.0 KR
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